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分光干渉方式の変位計のメーカー一覧
分光干渉方式の変位計は、広い波長の光を当て、反射光の干渉を波長ごとに分けて解析し、距離や厚みを細かく測るセンサです。フィルムやガラスの厚み、精密な変位の測定に使われます。
日本7社
| 社名 | 本社 | 確認した製品 | 方式 |
|---|---|---|---|
| JFEテクノリサーチ株式会社 | 日本 | FiDiCa | 分光干渉 |
| santec株式会社 | 日本 | TMS-2000 | 波長掃引干渉 |
| 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ | 日本 | VM-1200、VM-1300、VM-2500、VM-3500 | 分光反射率（膜厚） |
| 株式会社キーエンス | 日本 | SI-F、SI-T | 分光干渉 |
| 株式会社ニレコ | 日本 | BFS | 光ヘテロダイン |
| 大塚電子株式会社 | 日本 | SF-3、組込み型膜厚モニター、ラインスキャン膜厚計 | 分光干渉 |
| 浜松ホトニクス株式会社 | 日本 | Optical MicroGauge、Multipoint NanoGauge | — |
アジア2社
| 社名 | 本社 | 確認した製品 | 方式 |
|---|---|---|---|
| LightE-Technology（深圳立仪科技） | 中国 | METAFLIN-W | — |
| Suzhou Tronsight Intelligent Technology（苏州创视智能技术） | 中国 | TS-I | 分光干渉 |
欧州3社
| 社名 | 本社 | 確認した製品 | 方式 |
|---|---|---|---|
| Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG | ドイツ | interferoMETER | — |
| Precitec | ドイツ | CHRocodile | — |
| ThetaMetrisis | ギリシャ | FR-ES、FR-Mini、FR-Pro、FR-Scanner、FR-InLine | 分光反射率（膜厚） |
米州11社
| 社名 | 本社 | 確認した製品 | 方式 |
|---|---|---|---|
| Aeva | 米国 | Eve 1D | 光ヘテロダイン |
| Angstrom Sun Technologies | 米国 | SR Series、TFProbe | 分光反射率（膜厚） |
| Bristol Instruments | 米国 | 157 Series、137 Series | — |
| Bruker | 米国 | FilmTek | — |
| IPG Photonics | 米国 | LDD-700 | — |
| KLA Corporation | 米国 | Filmetrics | 分光反射率（膜厚） |
| Lumetrics, Inc. | 米国 | OptiGauge、LUMOS-V、STMS | — |
| Novacam Technologies | カナダ | MICROCAM | — |
| Semiconsoft | 米国 | MProbe | — |
| Sensory Analytics（SpecMetrix） | 米国 | SpecMetrix | 分光干渉 |
| StellarNet | 米国 | 膜厚計測システム | 分光反射率（膜厚） |
掲載の基準
- 候補は、展示会の出展者情報、業界団体の公開情報、製品情報サイトなど、公開されている情報から国内・海外を問わず広く集めています。そのうえで、各社の公式サイトで該当する製品を確認できたメーカーだけを掲載しています（商社・販売代理店は除きます）。
- すべてのメーカーを網羅したものではありません。掲載のご希望や内容の修正は、掲載のご依頼・修正のフォームからお寄せください。
- 掲載の順番は地域ごとの順不同で、評価や推奨を示すものではありません。
- 生産ラインや装置に組み込んで使う製品を対象とし、測定室などで使う専用の測定機や、手で使う測定工具は含めていません。
- 情報の確認日：2026年10月14日
- 掲載している社名・製品名は、各社の商標または登録商標です。